[发明专利]光刻机及其掩膜安装板的调平结构和调平方法在审
| 申请号： | 202110762209.1 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113448194A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 霍锦充 | 申请（专利权）人： | 东莞王氏港建机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 倪建娣 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻机技术领域，它涉及一种光刻机及其掩膜安装板的调平结构和调平方法，其中，掩膜安装板用于安装掩膜板，掩膜板周向上分布有四个基准区域A、B、C和D，掩膜安装板周向上分布有三个调节区域M1、M2和M3，调节区域M2与基准区域D对应，调节区域M3与基准区域C对应；上述的调平方法包括以下步骤：分别测量四个基准区域A、B、C和D各自与晶圆支撑板之间的距离LA、LB、LC和LD；以LA、LB、LC和LD中的最大值或最小值作为基准距离，对三个调节区域M1、M2和M3的位置分别进行调节，使LA、LB、LC和LD与基准距离一致。根据本发明的方案，其可以保证掩模板与晶圆支撑板上的晶圆平行。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 及其 安装 结构 平方 | ||
【主权项】：
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