[发明专利]一种靶材组件及其制备方法和用途有效
| 申请号： | 202110757242.5 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113458728B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材组件及其制备方法和用途，所述靶材组件包括靶材主体、中间层以及通过所述中间层与所述靶材主体相连的靶材背板；所述靶材主体包括溅射面，与所述溅射面通过第一倒角相连的主体侧面，与所述主体侧面通过第二倒角相连的主体喷砂面以及与所述溅射面相对的焊接面；所述焊接面上设置有螺纹；所述靶材背板与所述中间层相连一面为正面；所述靶材背板的正面上设置有与所述靶材背板同圆心的凹槽；所述凹槽的底部设置有螺纹；所述中间层设置于所述凹槽内；靶材组件通过优化整体结构，提高了靶材主体与靶材背板之间的焊接结合律以及焊接结合强度，减少了焊接过程中钛铝合金靶材开裂的情况，有利于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
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