[发明专利]检测设备及检测方法、检测系统及存储介质在审
| 申请号: | 202110755148.6 | 申请日: | 2021-07-02 |
| 公开(公告)号: | CN115561255A | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
| 发明(设计)人: | 陈鲁;王南朔;王秋实;卢继奎;马砚忠;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司: | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人: | 高静 |
| 地址: | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明提供一种检测设备,包括:定位模块,所述定位模块包括:定位光源组件,产生第一定位光束和第二定位光束,第一定位光束和第二定位光束的波长不同;成像组件,根据所述第一定位信号光形成第一定位图像,并根据所述第二定位信号光形成第二定位图像;处理模块,根据所述第一定位图像获取第一位置信息,根据所述第二定位图像获取第二位置信息;检测模块,根据第一位置信息对第一待测目标进行检测,并根据第二位置信息对第二待测目标进行检测。定位模块能够对待测目标进行成像,获取待测目标的位置信息,根据位置信息进行检测,能够提高检测精度,第一定位光束和第二定位光束的波长不同能对不同待测目标进行精确定位。 | ||
| 搜索关键词: | 检测 设备 方法 系统 存储 介质 | ||
【主权项】:
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