[发明专利]检测设备及检测方法、检测系统及存储介质

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

定位模块，所述定位模块包括：定位光源组件，产生第一定位光束和第二定位光束，所述第一定位光束和第二定位光束的波长不同，所述第一定位光束经待测物的第一待测目标之后形成第一定位信号光，所述第二定位光束经待测物的第二待测目标之后形成第二定位信号光；成像组件，用于根据所述第一定位信号光形成第一定位图像，并根据所述第二定位信号光形成第二定位图像；

处理模块，根据所述第一定位图像获取第一待测目标的第一位置信息，根据所述第二定位图像获取第二待测目标的第二位置信息；

检测模块，根据所述第一位置信息对所述第一待测目标进行检测，并根据所述第二位置信息对所述第二待测目标进行检测。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述成像组件包括：第一成像单元，用于探测第一定位信号光并根据所述第一定位信号光形成第一定位图像；第二成像单元，用于探测第二定位信号光并根据所述第二定位信号光形成第二定位图像。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，自所述待测物出射的第一定位信号光和第二定位信号光沿相同路径传播，

所述检测设备还包括第一分束器，用于对所述第一定位信号光和第二定位信号光进行分光处理，使至少部分第一定位信号光沿第一路径到达所述第一成像单元，至少部分第二定位信号光沿第二路径到达所述第二成像单元。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述第一成像单元和第二成像单元的放大倍数不同；所述第一分束器还用于使至少部分第一定位信号光沿第二路径到达所述第二成像单元，部分第二定位信号光第一路径到达所述第一成像单元；

所述第一成像单元还用于探测所述第二定位信号光；所述第二成像单元还用于探测所述第一定位信号光。

5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述第一成像单元包括：第一管镜和第一图像采集器，所述第一管镜与第一图像采集器之间具有第一距离；所述第二成像单元包括：第二管镜和第二图像采集器，所述第二管镜与第二图像采集器之间具有第二距离。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，第一成像单元和第二成像单元还包括物镜，所述物镜用于收集所述第一定位信号光和第二定位信号光，所述第一分束器用于对所述物镜收集的第一定位信号光和第二定位信号进行分光；所述第一管镜和第二管镜的焦距不同；和/或，所述第一距离和第二距离不同。

7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述第一距离为第一管镜的焦距，所述第二距离为所述第二管镜的焦距。

8.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述物镜还用于接收所述第一定位光束使所述第一定位光束汇聚至待测物，并接收所述第二定位光束使所述第二定位光束汇聚至待测物。

9.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一定位光束具有第一波长，所述第二定位光束具有第二波长；

所述第一成像单元包括第一滤波器，用于对第一定位信号进行滤波，滤除第二波长的光；所述第二滤波器，用于对第二定位信号进行滤波，滤除第一波长的光。