[发明专利]一种MEMS压电芯片及MEMS器件在审
| 申请号： | 202110737583.6 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113543000A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 卢笛 | 申请（专利权）人： | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R17/02 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS压电芯片及MEMS器件，所述压电芯片包括由下到上依次设置的衬底、绝缘层和压电薄膜，所述衬底上开设腔体，所述压电薄膜包括位于中心的活动部和与所述活动部一体成型的位于活动部外周的连接部；所述连接部的外侧固定在所述绝缘层上，所述连接部的内侧悬设于所述衬底上，所述活动部悬设于所述腔体上；所述连接部设有多个沿上下向贯穿的弯曲状的孔隙，使连接部形成多个弯曲状的悬臂梁。本发明所公开的MEMS压电芯片及MEMS器件通过在压电薄膜连接部形成多个弯曲状的悬臂梁结构，可有效提高芯片的灵敏度，并有利于释放压电薄膜的残余应力，提高芯片可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压电 芯片 器件 | ||
【主权项】：
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