[发明专利]一种Ni柱子辅助PMMA微透镜阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 202110735232.1 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113608285B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 梁小筱;伊福廷;刘静;王波;张天冲;颜铭铭;徐源泽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Ni柱子辅助PMMA微透镜阵列及其制备方法。本方法为：1)在镀铬金的硅片上电镀Ni柱子阵列；2)在电镀有Ni柱子阵列的所述硅片上旋涂一层液态PMMA后进行烘干处理；3)运用套刻技术，将X射线掩膜版与所述硅片上的Ni柱子对准，然后进行曝光、显影后得到具有PMMA柱子阵列的样品，其中所述PMMA柱子阵列中每一PMMA柱子内部包含一Ni柱子；4)将步骤3)所得样品放入烘箱中加热，使得所述PMMA柱子阵列中的各PMMA柱子热熔为微透镜，得到微透镜阵列。本发明通过在PMMA柱子中加入Ni柱子，达到的增加微透镜接触角的效果，进而能够制备接触角较大的微透镜阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ni 柱子 辅助 pmma 透镜 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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