[发明专利]材料表面雾的检测方法和装置有效
申请号: | 202110706036.1 | 申请日: | 2021-06-24 |
公开(公告)号: | CN113503840B | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 高伟;刘宇;王志珍;李海淼 | 申请(专利权)人: | 北京通美晶体技术股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人: | 钟守期;李慧 |
地址: | 101113 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种检测材料表面雾的方法,包括以下步骤:任选地初检:对材料进行初检,获得表面无目视可见缺陷的材料;和表面雾检测:检测材料的表面雾;其中,在表面雾检测设备中,在接收光路中通过光学过滤器模组过滤掉所述材料的光致发光信号,使其不被探测器检测到。本发明还提供一种检测材料表面雾装置。本发明的检测表面雾的方法和装置,过滤掉了不期望的材料光致发光信号,从而能够更准确地获得材料表面雾检测结果。 | ||
搜索关键词: | 材料 表面 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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