[发明专利]一种光刻金属剥离工艺显影工序在审
| 申请号： | 202110695319.0 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113376967A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 沈小娟 | 申请（专利权）人： | 无锡职业技术学院 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 王鹏翔 |
| 地址： | 214123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光刻金属剥离工艺显影工序，包括如下步骤：1）将显影液喷嘴从圆片边缘移到圆片中心上方，移动时不喷涂；2）旋转圆片并喷显影液进行显影反应；3）继续喷显影液，并降低圆片转速，在圆片表面覆盖显影液后，停止喷涂，显影液喷嘴复位，并对显影副产物进行轻微扰动；4）将显影液喷嘴移到圆片中心上方，先喷显影液，然后提高圆片转速，并喷显影液；5）重复步骤3），显影反应结束；6）将去离子水喷嘴移到圆片中心上方，先喷水，然后提高圆片转速，并喷水清洗后停止喷水，去离子水喷嘴复位，在清洗最后阶段，降低圆片转速；7）提高圆片转速进行甩干。本发明具有减少高台阶处光刻胶屋檐下的光刻胶残留的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 金属 剥离 工艺 显影 工序 | ||
【主权项】：
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