[发明专利]应用于柔性基材的复合膜及其制备方法和产品

摘要

一种应用于柔性基材的复合膜及其制备方法和产品。该应用于柔性基材的复合膜用于在柔性基材的表面形成，其中该应用于柔性基材的复合膜包括：一纳米过渡层，其中该纳米过渡层是以硅氧烷单体为反应原料，通过等离子体增强化学气相沉积法在该柔性基材的表面形成的膜层；和一类金刚石膜层，其中该类金刚石膜层是以碳源气体为反应原料，通过该等离子体增强化学气相沉积法在该纳米过渡层的表面形成的膜层，其能够提高基材的表面硬度和耐磨擦性能，有助于满足柔性显示器件的需求。