[发明专利]检查装置及检查方法在审
| 申请号： | 202110691512.7 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113866458A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 小林将人 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于对台的倾倒进行抑制的检查装置及检查方法。该检查装置包括：探针卡，具有与被检查体抵接的探针；上部模块，具有用于放置所述被检查体的载置部；移动机构，以能够升降的方式对所述上部模块进行支承，并且能够在水平方向上移动所述上部模块；以及升降机构，设置在所述移动机构的下方，并且能够向着所述探针卡将所述上部模块推起，其中，通过所述升降机构将所述上部模块推起时的推力的作用点的轴和通过所述探针卡承受的载荷的作用点的轴被布置在共同的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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