[发明专利]检查装置及检查方法

说明书

提供一种用于对台的倾倒进行抑制的检查装置及检查方法。该检查装置包括：探针卡，具有与被检查体抵接的探针；上部模块，具有用于放置所述被检查体的载置部；移动机构，以能够升降的方式对所述上部模块进行支承，并且能够在水平方向上移动所述上部模块；以及升降机构，设置在所述移动机构的下方，并且能够向着所述探针卡将所述上部模块推起，其中，通过所述升降机构将所述上部模块推起时的推力的作用点的轴和通过所述探针卡承受的载荷的作用点的轴被布置在共同的位置。

技术领域

本公开涉及一种检查装置及检查方法。

背景技术

已知一种检查装置，其将形成电子器件的晶圆或布置有电子器件的载体放置在台上，使设置在探针卡上的探针与电子器件的电极抵接，以对电子器件的电学特性进行检查。

专利文献1公开了一种针对探针卡的基板抵接装置，其特征在于，该基板抵接装置使基板抵接基板检查装置的基板检查用接口的探针卡，该基板检查装置具有用于对形成在所述基板上的半导体器件的电学特性进行检查的检查部、以及布置在该检查部的上部的所述基板检查用接口，其中，该基板抵接装置具有：搬送机构，将所述基板与板状部件一起搬送至与所述探针卡相对的位置；抵接机构，使由该搬送机构搬送的所述基板与所述板状部件一起向着所述探针卡移动以使设置在所述基板上的半导体器件的多个电极分别与设置所述探针卡上的多个探针抵接，然后进一步使所述基板与所述板状部件一起向着所述探针卡移动预定量；保持机构，对所述探针卡与所述板状部件之间的空间进行减压以保持所述半导体器件的多个电极与所述探针卡的多个探针之间的抵接状态；以及脱离机构，在利用所述保持机构保持所述抵接状态之后，使所述搬送机构与所述板状部件分离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2014-29916号公报

发明内容

本发明要解决的问题

然而，当使探针与晶圆或载体的外周部抵接时，有可能在来自探针卡的压力载荷重心与用于对其支承的台的中心之间产生偏移，从而发生台的倾倒。

在一个方面，本公开提供一种用于对台的倾倒进行抑制的检查装置及检查方法。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，根据一个实施方式，提供一种检查装置，包括：探针卡，具有与被检查体抵接的探针；上部模块，具有用于放置所述被检查体的载置部；移动机构，以能够升降的方式对所述上部模块进行支承，并且能够在水平方向上移动所述上部模块；以及升降机构，设置在所述移动机构的下方，并且能够向着所述探针卡将所述上部模块推起，其中，通过所述升降机构将所述上部模块推起时的推力的作用点的轴和通过所述探针卡承受的载荷的作用点的轴被布置在共同的位置。

发明的效果

根据一个方面，能够提供一种用于对台的倾倒进行抑制的检查装置及检查方法。

附图说明

图1是用于对根据第1实施方式的检查装置的构成进行说明的剖面示意图。

图2是用于对可动连结机构进行说明的示意图。

图3是示出检查装置的动作的一个示例的流程图。

图4是在对根据第1实施方式的检查装置中的载体中央部的电子器件进行检查时的水平移动后的剖面示意图。

图5是在对根据第1实施方式的检查装置中的载体中央部的电子器件进行检查时的剖面示意图。

图6是在对根据第1实施方式的检查装置中的载体外周部的电子器件进行检查时的水平移动后的剖面示意图。

图7是在对根据第1实施方式的检查装置中的载体外周部的电子器件进行检查时的剖面示意图。