[发明专利]检查装置及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，包括：

探针卡，具有与被检查体抵接的探针；

上部模块，具有用于放置所述被检查体的载置部；

移动机构，以能够升降的方式对所述上部模块进行支承，并且能够在水平方向上移动所述上部模块；以及

升降机构，设置在所述移动机构的下方，并且能够向着所述探针卡将所述上部模块推起，

其中，通过所述升降机构将所述上部模块推起时的推力的作用点的轴和通过所述探针卡承受的载荷的作用点的轴被布置在共同的位置。

2.根据权利要求1所述的检查装置，还包括：

连结机构，以拆装自如的方式将所述上部模块与所述升降机构连结。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述连结机构通过磁性吸附进行连结。

4.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述连结机构通过真空吸附进行连结。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其中，

所述移动机构具有：

第一台，能够相对于底板在第一方向上移动；以及

第二台，能够相对于所述第一台在与所述第一方向不同的第二方向上移动，

所述上部模块以能够升降的方式被所述第二台支承，

所述第一台具有开口部。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其中，

所述移动机构具有：

第一台，能够相对于底板在第一方向上移动；以及

第二台，能够相对于所述上部模块在与所述第一方向不同的第二方向上移动，

所述上部模块以能够升降的方式被所述第一台支承，

所述第一台具有开口部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的检查装置，还包括：

探针研磨板支承台，用于支承探针研磨板，

其中，所述移动机构独立于所述上部模块以能够升降的方式对所述探针研磨板支承台进行支承，

所述升降机构将所述探针研磨板支承台推向所述探针卡。

8.一种检查装置的检查方法，所述检查装置包括：

探针卡，具有与被检查体抵接的探针；

上部模块，具有用于放置所述被检查体的载置部；

移动机构，以能够升降的方式对所述上部模块进行支承，并且能够在水平方向上移动所述上部模块；

升降机构，设置在所述移动机构的下方，并且能够向着所述探针卡将所述上部模块推起；以及

控制部，

其中，所述控制部执行以下步骤：

对所述移动机构进行控制，以使所述被检查体移动的步骤；以及

对所述升降机构进行控制，以使所述被检查体与所述探针接触的步骤，其中，通过所述升降机构将所述上部模块推起时的推力的作用点的轴和通过所述探针卡承受的载荷的作用点的轴被布置在共同的位置。