[发明专利]一种微机械加速度计及其校准补偿方法有效
| 申请号： | 202110690842.4 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113406357B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 马志鹏;金一鸣;金仲和;郑旭东 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00;G01P15/125;B81B7/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 郑海峰 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械加速度计及其校准补偿方法，属于加速度测量技术领域。可通过双边平行板式梳齿电容上施加偏置调谐电压的方式调节加速度计等效刚度，由于该梳齿电容静电刚度随位移变化，该加速度计也可工作在位置闭环状态。闭环参考位置校准是在调谐电压上引入一个带宽外校准信号，对位移等效电压进行解调滤波，得到位移扰动量，基于此通过反馈环路对参考位置进行补偿，直至位移扰动量降为零；等效刚度校准是在闭环参考位置上加入一个带宽内校准信号，对力平衡反馈控制信号进行解调滤波，得出表征加速度计等效刚度的电压信号，基于此建立刚度补偿闭环可维持加速度计等效刚度恒定不变。本发明有助于检测和抑制加速度计输出漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 加速度计 及其 校准 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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