[发明专利]一种结构涂层及其制备方法和应用有效
申请号: | 202110689754.2 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN113774330B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 王鹏;乔丽;张弘;白小刚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/02;H05B3/00;H05B3/02;H05B3/12 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 马丛 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本发明涉及涂层电阻材料技术领域,尤其涉及一种结构涂层及其制备方法和应用。本发明提供的结构涂层,包括在基底表面依次层叠设置的钛过渡层和铂铪复合结构层;所述铂铪复合结构层的层数≥3;所述铂铪复合结构层包括依次层叠设置的铪层和铂层。本发明利用铪较高的熔点和较低的电阻率,通过在钛过渡层和铂层之间设置铪层,作为铂层的复合相,有效的提高了结构涂层在受热过程中的再结晶温度,抑制了高温下钛过渡层向金属电阻层(铂层)的扩散问题;通过设置所述铂铪复合结构层的层数≥3,增加了界面强化效应,最终得到一种具备高热稳定性的结构涂层。 | ||
搜索关键词: | 一种 结构 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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