[发明专利]VCSEL芯片及其制备方法和车载激光雷达在审

专利信息
申请号: 202110688008.1 申请日: 2021-06-21
公开(公告)号: CN115579729A 公开(公告)日: 2023-01-06
发明(设计)人: 郭铭浩;周圣凯;王立;李念宜 申请(专利权)人: 浙江睿熙科技有限公司
主分类号: H01S5/042 分类号: H01S5/042;H01S5/183;H01S5/40;G01S7/481
代理公司: 宁波市道同知识产权代理有限公司 33478 代理人: 谢华
地址: 311113 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 公开了一种VCSEL芯片及其制备方法和车载激光雷达。所述VCSEL芯片包括:以阵列方式布置的相互电隔离的多个VCSEL发光单元,每个所述VCSEL发光单元包括至少一发光主体以及用于导通所述发光主体的正电连接端和负电连接端;在晶圆级别集成地设置于所述多个VCSEL发光单元中至少部分所述VCSEL发光单元的多个光调制元件;以及,寻址电路结构,包括多条正电连接线和多条负电连接线,其中,每一所述正电连接线电连接于至少二所述VCSEL发光单元的所述正电连接端;每一所述负电连接线电连接于至少二所述VCSEL发光单元的所述负电连接端。所述VCSEL芯片通过其自身的结构设计增大了其整体发散角,以扩大所述VCSEL芯片的扫描域。
搜索关键词: vcsel 芯片 及其 制备 方法 车载 激光雷达
【主权项】:
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