[发明专利]一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法有效
| 申请号： | 202110683096.6 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113500535B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王礼华;赵延军;张高亮;左冬华;钱灌文;曹剑锋;孙冠男 | 申请（专利权）人： | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
| 主分类号： | B24D3/02 | 分类号： | B24D3/02;B24D3/34;B24D18/00;B24D5/06;B24D7/06 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 张丽 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法，尤其涉及碳化硅半导体材料加工用复合结合剂超硬材料砂轮配方及制备方法。配方主要有以下组成，金刚石磨料25‑45%、预合金粉25‑40%、聚苯硫醚8~20%、氧化锌晶须10~18%、SG磨料8‑22%。本发明制备采用聚苯硫醚和锌铜合金粉作为复合结合剂体系，该结合剂体系对磨料把持力强，抵抗大尺寸碳化硅的高磨削阻力，磨削力强。铁铝等细化了合金体系的晶粒组织，并且增加脆性，提高砂轮磨削锋利性。同时晶须等的利用可以增加砂轮层微观组织的各项同性，获得较好的均质状态，解决碳化硅衬底磨削稳定性问题。彻底解决了大尺寸碳化硅衬底加工难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 碳化硅 衬底 工用 复合 结合 砂轮 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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