[发明专利]玻璃光罩及其制造方法

摘要

本发明公开了一种玻璃光罩及其制造方法，该玻璃光罩的制造方法可包括：提供匀胶铬板，匀胶铬板包括依次层叠设置的玻璃基板、铬层、氧化铬层以及光刻胶层，玻璃基板具有第一区域和与第一区域连接的第二区域；去除覆盖在第一区域上的光刻胶层；蚀刻去除覆盖在第一区域上的氧化铬层与铬层；去除覆盖在第二区域上的光刻胶层；蚀刻去除覆盖在第二区域上的氧化铬层，得到玻璃光罩。从而铬层形成玻璃光罩的遮光区域的表面，以使玻璃光罩的遮光区域的表面对光的反射性高。本发明提供的玻璃光罩的制造方法通过对匀胶铬板进行两次蚀刻，实现了使用具有低反射性的氧化铬膜层的匀胶铬板，生产遮光区域的表面具有高反射性的玻璃光罩，生产成本低。