[发明专利]一种耐磨导电金刚石定位器在审
| 申请号： | 202110645840.3 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113523836A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 胡常青;赵建海;王子龙 | 申请（专利权）人： | 上海铂世光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B23Q1/26 | 分类号： | B23Q1/26 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 余娜 |
| 地址： | 201707 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种耐磨导电金刚石定位器，包括：支撑座、固定于所述支撑座上的CVD绝缘金刚石膜、固接于所述CVD绝缘金刚石膜上的掺硼导电金刚石膜及位于所述掺硼导电金刚石膜上往复运动的运动件；所述掺硼导电金刚石膜沿长度方向上刻蚀有多个沟槽，多个所述沟槽用于将掺硼导电金刚石膜分割成多个独立的区域段，所述区域段用于运动件位于掺硼导电金刚石膜上往复运动时与掺硼导电金刚石膜形成接触和脱离接触两个接触状态。根据本发明，具有耐磨损，可以在恶劣的环境中稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐磨 导电 金刚石 定位器 | ||
【主权项】：
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