[发明专利]一种耐磨导电金刚石定位器

权利要求书

1.一种耐磨导电金刚石定位器，其特征在于，包括：

支撑座(4)、固定于所述支撑座(4)上的CVD绝缘金刚石膜(5)、固接于所述CVD绝缘金刚石膜(5)上的掺硼导电金刚石膜(2)及位于所述掺硼导电金刚石膜(2)上往复运动的运动件(1)；

所述掺硼导电金刚石膜(2)沿长度方向上刻蚀有多个沟槽(7)，多个所述沟槽(7)用于将掺硼导电金刚石膜(2)分割成多个独立的区域段，所述区域段用于运动件(1)位于掺硼导电金刚石膜(2)上往复运动时与掺硼导电金刚石膜(2)形成接触和脱离接触两个接触状态。

2.如权利要求1所述的一种耐磨导电金刚石定位器，其特征在于，所述支撑座(4)上开设有一安装槽，所述安装槽内固接有CVD绝缘金刚石膜(5)，且所述安装槽的长度为第一长度值，所述第一长度值大于CVD绝缘金刚石膜(5)的长度值。

3.如权利要求1所述的一种耐磨导电金刚石定位器，其特征在于，所述区域段包括平面部以及与所述平面部一体式连接的竖直部，所述平面部位于CVD绝缘金刚石膜(5)远离支撑座(4)的端面上，所述竖直部位于与平面部相邻的CVD绝缘金刚石膜(5)侧面上。

4.如权利要求3所述的一种耐磨导电金刚石定位器，其特征在于，所述运动件(1)位于所述平面部上做往复运动，所述竖直部的端面上固接有电极导线连接点(6)，所述电极导线连接点上固接有电极导线(3)。

5.如权利要求1所述的一种耐磨导电金刚石定位器，其特征在于，所述CVD绝缘金刚石膜(5)的电阻率1013Ω/cm，所述掺硼导电金刚石膜(2)的电阻率在10^-3---10⁶Ω/cm之间。

6.如权利要求1所述的一种耐磨导电金刚石定位器，其特征在于，每个区域段之间相互绝缘。

7.如权利要求1所述的一种耐磨导电金刚石定位器，其特征在于，所述CVD绝缘金刚石膜(5)与掺硼导电金刚石膜(2)构成固定电极，所述运动件(1)构成运动电极，所述固定电极的形状根据运动电极的运动轨迹进行一一相对应。

8.如权利要求7所述的一种耐磨导电金刚石定位器，其特征在于，所述固定电极的形状包括直线形、圆环形、、2D形状或3D形状。