[发明专利]晶圆分层电磁屏蔽线路的封装结构有效
申请号: | 202110632359.0 | 申请日: | 2021-06-07 |
公开(公告)号: | CN113363168B | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 朱仕镇 | 申请(专利权)人: | 深圳市三联盛科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;B26D1/143;B26D1/15 |
代理公司: | 东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙) 44777 | 代理人: | 刘栋栋 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了晶圆分层电磁屏蔽线路的封装结构,包括固定框体、封装膜、配重压块、连接框、联动机构和定位机构,固定框体的正面开设有操作腔,固定框体的底部套设有承载板,承载板的上表面开设有放置槽,放置槽的内部套设有晶圆本体,封装膜贯穿固定框体的底部,配重压块的两侧呈环形等距阵列设置有四个切割刀片,连接框的内部设置有往复机构,联动机构设置于操作腔的内部,定位机构设置于固定框体的背面。本发明的有益效果是:本发明利用往复机构的设计,往复机构的作用下支撑杆能进行垂直方向的往复运动,再配合复位弹簧的作用,复位弹簧能牵引右拉绳带动联动转杆反向转动,使切割刀片反向的对封装膜进行二次切割。 | ||
搜索关键词: | 分层 电磁 屏蔽 线路 封装 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市三联盛科技股份有限公司,未经深圳市三联盛科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110632359.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造