[发明专利]光固化性组合物及图案形成方法在审
| 申请号： | 202110624051.1 | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN113777884A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 昆野健理 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;唐峥 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及光固化性组合物及图案形成方法。一种光固化性组合物，其含有：(X)成分：平均一次粒径为50nm以下的金属氧化物纳米粒子；(P)成分：磷酸(甲基)丙烯酸酯；和(C)成分：光聚合引发剂。 | ||
| 搜索关键词： | 光固化 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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