[发明专利]样品表面位置在线定位测量装置及其漂移监测方法在审
| 申请号： | 202110605782.1 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113358569A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王丹;李璟;陈进新;武志鹏;齐威;高斌;折昌美 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/84;G01N21/95 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种样品表面位置在线定位测量装置，包括：定位系统，用于对待测的样品表面进行在线定位，将所述样品表面保持在参考面位置；测量系统，用于对在参考面位置的所述样品进行测量，完成所述样品表面位置在线定位测量。能够在线完成样品表面定位至系统参考面位置；能够在系统发生漂移后，通过在线快速调节样品表面位置的方式辅助检测系统漂移的问题，能够判断是否需要对测量系统自身进行重新校准和标定。本公开还提供了一种样品表面位置在线定位测量装置的漂移监测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 表面 位置 在线 定位 测量 装置 及其 漂移 监测 方法 | ||
【主权项】：
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