[发明专利]样品表面位置在线定位测量装置及其漂移监测方法

权利要求书

1.一种样品表面位置在线定位测量装置，包括：

定位系统，用于对待测的样品的样品表面进行在线定位，将所述样品表面保持在参考面位置；以及

测量系统，用于对在参考面位置的所述样品表面进行测量，完成所述样品表面的样品表面位置的在线定位测量。

2.根据权利要求1所述的样品表面位置在线定位测量装置，其中，所述定位系统包括：

三维调节机构，用于调节所述样品表面的位置，包括用于承载所述样品的样品台；

计量机构，用于对所述样品表面的定位测量，所述计量机构包括：

支撑框架；以及

位移传感器组，通过固定结构固定于所述支撑框架，能够对处于设定的参考面位置的所述样品表面进行测量，得到标准位置数据，所述位移传感器组还能够对所述样品表面的位置进行监测，得到监测位置数据；

所述三维调节机构根据监测位置数据，将所述样品表面的位置调节至所述参考面位置，完成所述样品的在线定位。

3.根据权利要求2所述的样品表面位置在线定位测量装置，其中，所述三维调节机构还包括：

基板；以及

调节板，通过精密调节螺钉连接于所述基板；所述精密调节螺钉，用于将所述样品表面调节至参考面位置。

4.根据权利要求3所述的样品表面位置在线定位测量装置，其中，所述精密调节螺钉具有锁紧结构。

5.根据权利要求2所述的样品表面位置在线定位测量装置，其中，所述位移传感器组包括：多个不在同一直线上的位移传感器，各位移传感器均能分别获取一个相对于所述样品表面的距离，进而能够确定所述样品表面所在平面的位置数据。

6.根据权利要求1所述的样品表面位置在线定位测量装置，其中，所述光学测量系统为的高度测量系统、半导体曝光光学系统、显微成像光学系统其中一种。

7.根据权利要求1所述的样品表面位置在线定位测量装置，其中，所述参考面为通过外部校准和标定工具得到的标准参考面。

8.根据权利要求1至7所述任一的样品表面位置在线定位测量装置的漂移检测方法，包括：

操作S100：在线检测并确定所述定位系统或所述测量系统发生漂移；以及

操作S200：对发生漂移的所述定位系统或所述测量系统进行校准。

9.根据权利要求8所述的漂移检测方法，其中，所述操作S100包括：

操作S110：读取位所述移传感器的所述监测位置数据；

操作S120：对所述监测位置数据与所述参考面的位置数据进行对比得到高度差；以及

操作S130：对所述高度差与所述测量系统的焦深对比分析，其中，所述高度差小于等于所述焦深的值的一半为测量系统发生漂移，所述高度差大于所述焦深的值的一半为定位系统发生漂移。

10.根据权利要求8所述的漂移检测方法，其中，所述操作S200包括：

操作S210：通过三维调节机构，根据监测位置数据，将所述样品表面的位置调节至所述标准参考面位置，完成所述定位系统或所述测量系统的在线校准；以及

操作S220：完成所述样品表面的在线校准后，所述高度差仍然大于所述焦深的值的一半，为所述定位系统和所述测量系统发生漂移，进而重新通过外部校准和标定工具得到所述参考面，完成所述定位系统和所述测量系统的在线校准。