[发明专利]柔性MEMS器件和电子设备有效
| 申请号： | 202110589849.7 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113321177B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 史迎利 | 申请（专利权）人： | 北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵丽婷 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了柔性MEMS器件和电子设备。该柔性MEMS器件包括衬底基板，所述衬底基板包括：第一基底，所述第一基底包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面具有凹槽；第二基底，所述第二基底嵌设在所述凹槽中，所述第二基底的杨氏模量大于第一基底的杨氏模量。由此，将杨氏模量较大的第二基底与杨氏模量较小的第一基底进行结合，第一基底可以承受拉伸变形，而第二基底可以提供较大的刚度，进而减少柔性MEMS器件整体受到拉伸变形时设置在第二基底上的MEMS组件承受的应力与应变，使MEMS组件保持结构、功能和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 mems 器件 电子设备 | ||
【主权项】：
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