[发明专利]一种在提拉法系统中实时探测晶体生长界面变化趋势的方法有效
| 申请号： | 202110586722.X | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113447528B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 王彪;王文佳;朱允中 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01B7/28 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 吴静芝 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在提拉法系统中实时探测晶体生长界面变化趋势的方法，包括以下步骤：在晶体生长过程中，实时检测界面相本征电动势GEMF，计算每隔一段时间内界面相本征电动势GEMF的上升时间与下降时间的差值或比值，根据该差值或比值来实时判断晶体生长界面的变化趋势。该方法基于界面相本征电动势GEMF上升时间与下降时间的关系变化预测生长界面的变化，能够及时、准确地探测晶体生长界面的变化趋势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 法系 实时 探测 晶体生长 界面 变化 趋势 方法 | ||
【主权项】：
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