[发明专利]晶粒搬运设备在审
| 申请号： | 202110585315.7 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN115400962A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 张烘杰;陈东阳;李建申 | 申请（专利权）人： | 安益隆展业股份有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/36;B07C5/342;B07C5/344 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理有限公司 11301 | 代理人： | 郑玉洁 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶粒搬运设备，其包括一立式旋转模块，其有一立式转轮、一真空产生单元及一动力单元，立式转轮的周围环设有多个容置槽，各容置槽分别有一朝向立式转轮的轮面的进出口及一朝向立式转轮的轮缘的工作口，各容置槽的底面分别有一真空吸引口，各真空吸引口连接真空产生单元，动力单元连接立式转轮的转轴；一输送模块，其设于立式转轮靠近各进出口的一侧，输送模块将一待测物移进或移出各容置槽；及一测试模块，其设于对应立式转轮旋转时各工作口的位置。本发明通过立式转轮的旋转动作将待测物带往不同的测试单元进行测试，可减少待测物在移动时的撞击与摩擦。 | ||
| 搜索关键词： | 晶粒 搬运 设备 | ||
【主权项】：
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