[发明专利]晶粒搬运设备在审
申请号: | 202110585315.7 | 申请日: | 2021-05-27 |
公开(公告)号: | CN115400962A | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 张烘杰;陈东阳;李建申 | 申请(专利权)人: | 安益隆展业股份有限公司 |
主分类号: | B07C5/02 | 分类号: | B07C5/02;B07C5/36;B07C5/342;B07C5/344 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理有限公司 11301 | 代理人: | 郑玉洁 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶粒 搬运 设备 | ||
1.一种晶粒搬运设备,其特征在于:其包括:
一立式旋转模块,其包括一立式转轮、一真空产生单元及一动力单元,该立式转轮的周围环设有多个容置槽,各容置槽分别有一朝向该立式转轮的轮面的进出口及一朝向该立式转轮的轮缘的工作口,各容置槽的底面分别有一真空吸引口,各真空吸引口连接该真空产生单元,该立式转轮上设置有与该动力单元连接的转轴;
一输送模块,其设于该立式转轮靠近各进出口的一侧,该输送模块将一待测物移进或移出各容置槽;及
一测试模块,其设于对应该立式转轮旋转时各工作口的位置。
2.如权利要求1所述的晶粒搬运设备,其特征在于:该立式转轮的轮面与水平面之间所呈角度为45~135度之间。
3.如权利要求1所述的晶粒搬运设备,其特征在于:该输送模块设有至少一以抓取一待测物横向移动并由各进出口进出各容置槽的夹爪。
4.如权利要求1所述的晶粒搬运设备,其特征在于:该输送模块包括一输入区块、一良品区块及一不良品区块。
5.如权利要求1所述的晶粒搬运设备,其特征在于:该输送模块设于该立式转轮的底端靠近各进出口的一侧。
6.如权利要求1所述的晶粒搬运设备,其特征在于:该测试模块设于高于该输送模块且对应该立式转轮旋转时各工作口的位置。
7.如权利要求1所述的晶粒搬运设备,其特征在于:该测试模块包括一对位单元。
8.如权利要求1所述的晶粒搬运设备,其特征在于:该测试模块包括一电性检测单元。
9.如权利要求1所述的晶粒搬运设备,其特征在于:该测试模块进一步包括一光学检测单元。
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