[发明专利]一种利用机械臂的等离子装置在审
| 申请号： | 202110582127.9 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113192813A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 万良庆;卞杰;崔行磊 | 申请（专利权）人： | 南京珀斯佩特电子科技有限公司;南京工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;B25J11/00;B25J13/06 |
| 代理公司： | 南京源古知识产权代理事务所(普通合伙) 32300 | 代理人： | 郑宜梅 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用机械臂的等离子装置，包括方形装置框架，其上面一层右侧处的等离子体处理空腔内部设置等离子体喷枪与机械臂辅助处理装置。采用机械臂带动离子体喷枪在等离子处理空腔内运动；喷枪距离检测单元安装于机械臂表面用于采集等离子体喷枪喷头处与被处理的表面的距离，并将采集的数据通过其对应的线路传输至CPU；其上面一层的左侧为控制开关柜；控制开关柜中设置机械臂控制面板、等离子体处理装置控制面板、机械臂控制电路、等离子体处理装置控制电路、气源供应开关以及无线传输装置；CPU通过无线传输装置实现与控制平台通讯相连；装置框架的中间层放置等离子电源发生器。本等离子装置操作简便、可控性强、处理成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 机械 等离子 装置 | ||
【主权项】：
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