[发明专利]制备多层压电薄膜的方法、压电模组和电子设备在审
| 申请号： | 202110579110.8 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113394337A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李宋楚 | 申请（专利权）人： | 江西欧迈斯微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/27 | 分类号： | H01L41/27;H01L41/257;H01L41/083;H04R7/10;H04R17/00;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 朱鸿雁 |
| 地址： | 330096 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备多层压电薄膜的方法、压电模组和电子设备，制备多层压电薄膜的方法包括，在基板上依次制备交替设置的电极层和压电膜层，以得到多层压电薄膜；其中，制备第n层压电膜层的步骤包括：在结晶辅助溶剂气氛中，通过热处理使所述第n层压电膜层结晶，以使得所述第n层压电膜层的结晶粒子穿透部分电极层与第n‑1层压电膜层连接，n大于等于2。本发明实施例的制备多层压电薄膜的方法、压电模组和电子设备，在制备多层压电薄膜时，无需再采用胶水贴合压电膜层，从而可以降低压电模组整体厚度，提升压电模组的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 多层 压电 薄膜 方法 模组 电子设备 | ||
【主权项】：
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