[发明专利]制备多层压电薄膜的方法、压电模组和电子设备

权利要求书

1.一种制备多层压电薄膜的方法，其特征在于，包括：

在基板上依次制备交替设置的电极层和压电膜层，以得到多层压电薄膜；

其中，制备第n层压电膜层的步骤包括：在结晶辅助溶剂气氛中，通过热处理使所述第n层压电膜层结晶，以使得所述第n层压电膜层的结晶粒子穿透部分电极层与第n-1层压电膜层连接，n大于等于2。

2.根据权利要求1所述的制备多层压电薄膜的方法，其特征在于，制备所述第n层压电膜层包括：

在电极层上涂布包含第一预设固含量压电薄膜材料的制膜前驱溶液以形成第n层压电膜层湿膜；

将所述压电膜层湿膜在所述结晶辅助溶剂气氛中进行第一热处理以形成所述第n层压电膜层，其中，第一热处理时间t1的取值为4h≤t1≤10h，第一热处理温度T1的取值为130℃T1145℃。

3.根据权利要求2所述的制备多层压电薄膜的方法，其特征在于，所述第一热处理时间的取值为4h≤t1≤6h。

4.根据权利要求2所述的制备多层压电薄膜的方法，其特征在于，所述第一预设固含量压电薄膜材料包括固含量取值为10％～20％的聚偏氟乙烯或偏氟乙烯三氟乙烯共聚物。

5.根据权利要求3所述的制备多层压电薄膜的方法，其特征在于，所述制膜前驱溶液包括丙二醇甲醚醋酸酯、甲基乙基酮和N,N-二甲基甲酰胺中的至少一种。

6.根据权利要求2所述的制备多层压电薄膜的方法，其特征在于，将所述压电膜层湿膜在所述结晶辅助溶剂气氛中进行第一热处理以形成所述第n层压电膜层，包括：

将所述压电膜层湿膜和结晶辅助溶剂放入密闭容器中；

以所述第一热处理温度对所述密闭容器进行加热并维持所述第一热处理时间，其中，在所述密闭容器中所述结晶辅助溶剂的气氛浓度p取值为3g/m³p10g/m³。

7.根据权利要求2或6所述的制备多层压电薄膜的方法，其特征在于，所述结晶辅助溶剂包括N,N-二甲基甲酰胺或丙二醇甲醚醋酸酯。

8.根据权利要求6所述的制备多层压电薄膜的方法，其特征在于，在所述密闭容器中所述结晶辅助溶剂的气氛浓度p取值为4g/m³p6g/m³。

9.一种压电模组，其特征在于，包括根据权利要求1-8任一项所述的制备多层压电薄膜的方法制备而成的多层压电薄膜。

10.一种电子设备，其特征在于，包括：

设备体；

设置在所述设备体上的显示屏和驱动电压源；

权利要求9所述的压电模组，所述压电模组设置在所述显示屏上，所述驱动电压源与所述压电模组的电极层连接。