[发明专利]一种实现EBSD系统跨尺度连续自动表征分析测试方法有效
| 申请号： | 202110575323.3 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113433149B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 马广财;张重远;张滨;杨飞雪;郭明非 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 陈曦 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及金属材料分析测试领域，尤其涉及一种实现EBSD系统跨尺度连续自动表征分析测试方法。利用附件自动运行程序实现工作距离和样品倾角的精确控制，控制被检测位置的工作距离WD在22～27mm范围内某值恒定不变，改变样品倾角至52°～60°范围内。调整EBSD检测器空间位置以及外挂主机监控程序实现检测位置联动动态聚焦、像散等参数，实现对超大样品的连续自动表征。该方法能够使得EBSD测试在较少人为干预情况下实现跨尺度快速表征与分析，测试成本降低、效率提高，最终实现样品的高通量表征分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 ebsd 系统 尺度 连续 自动 表征 分析 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院金属研究所，未经中国科学院金属研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110575323.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
