[发明专利]一种基于金属银牺牲层的石墨烯转移方法在审
申请号: | 202110566155.1 | 申请日: | 2021-05-24 |
公开(公告)号: | CN113401893A | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 李全福;孙曼莉;陈武良;徐敏华;彭慧玲 | 申请(专利权)人: | 广西师范大学 |
主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186 |
代理公司: | 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134 | 代理人: | 白洪 |
地址: | 541004 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种基于金属银牺牲层的石墨烯转移方法,采用化学气相沉积法在金属基底上生长石墨烯,将银均匀沉积在所述石墨烯上,旋涂聚甲基丙烯酸甲酯,用刻蚀液刻蚀掉金属基底,最后使用丙酮除去聚甲基丙烯酸甲酯,硝酸刻蚀银,完成石墨烯的转移。在石墨烯的表面上均匀地沉积了一层金属银,可以避免石墨烯与聚甲基丙烯酸甲酯直接接触,从而避免了石墨烯处于一个重P掺的状态也避免了石墨烯转移过程中有机物的残留。金属银的均匀覆盖还会使石墨烯完全展开,便于石墨烯转移到目标基底上。通过银氨溶液和葡萄糖反应产生的银均匀沉积在石墨烯表面。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 金属 牺牲 石墨 转移 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广西师范大学,未经广西师范大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110566155.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。