[发明专利]通电加热丝的制造方法以及制造装置在审
| 申请号： | 202110564780.2 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113755787A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 山田龙藏;青代信;浅利伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C8/20 | 分类号： | C23C8/20;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够在表面均匀地形成碳化钽的通电加热丝的制造方法以及制造装置。在本发明的一个方式所涉及的通电加热丝的制造方法中，向设置有钽丝的腔室导入乙炔气体，所述钽丝具有两个端部并以在垂直方向上折回的方式悬挂，一边控制导入所述腔室内的所述乙炔气体的供给量而使所述腔室的内压变化，一边通电加热所述钽丝，对所述钽丝的表面进行碳化处理。 | ||
| 搜索关键词： | 通电 加热 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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