[发明专利]通电加热丝的制造方法以及制造装置

说明书

本发明提供一种能够在表面均匀地形成碳化钽的通电加热丝的制造方法以及制造装置。在本发明的一个方式所涉及的通电加热丝的制造方法中，向设置有钽丝的腔室导入乙炔气体，所述钽丝具有两个端部并以在垂直方向上折回的方式悬挂，一边控制导入所述腔室内的所述乙炔气体的供给量而使所述腔室的内压变化，一边通电加热所述钽丝，对所述钽丝的表面进行碳化处理。

技术领域

本发明涉及例如在催化丝化学气相沉积法中使用的通电加热丝的制造方法以及制造装置。

背景技术

存在催化化学气相沉积法(Cat-CVD：Catalytic-Chemical Vapor Deposition)这样一种成膜方法。该方法的成膜法如下：例如向加热到1500～2000℃的催化丝供给反应气体，使利用反应气体的接触反应或热分解反应生成的分解物种(淀积物种)淀积在被成膜基板上。

催化化学气相沉积法在使反应气体的分解物种淀积在基板上来形成膜这方面与等离子体CVD法类似。但是，催化化学气相沉积法是在高温的催化丝上生成反应气体的分解物种，因此与形成等离子体来生成反应气体的分解物种的等离子体CVD法相比，具有：没有由等离子体造成的表面损伤、原料气体的利用效率高的优点。

钽作为在该催化化学气相沉积法中使用的催化丝的材料被广泛使用。但是，因为金属钽自身在高温下的蠕变强度低，所以如果将金属钽直接作为催化丝使用，则在加热时会发生热伸长、熔断。因此，在将钽作为催化丝使用的情况下，可以使用通过对钽进行硼化处理或碳化处理来使钽高熔点化和硬化的方法。

例如在专利文献1中公开了一种通电加热丝，其通过向内部设置有钽丝的真空腔室内导入碳源气体并且对钽丝施加电压而形成，具有由钽构成的芯部和由包覆该芯部的碳化钽构成的周缘部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-41576号公报。

发明要解决的问题

在使用催化化学气相沉积法在基板成膜的等情况下，为了在整个基板面内形成特性均一的膜，需要一种在表面均匀地形成有碳化钽的通电加热丝。

发明内容

鉴于如上的情况，本发明的目的在于提供一种能够在表面均匀地形成碳化钽的通电加热丝的制造方法以及制造装置。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，在本发明的一个方式所涉及的通电加热丝的制造方法中，

向设置有钽丝的腔室导入乙炔气体，上述钽丝具有两个端部，并以在垂直方向上折回的方式悬挂，

一边通过控制导入上述腔室内的上述乙炔气体的供给量而使上述腔室的内压变化，一边通电加热上述钽丝，对上述钽丝的表面进行碳化处理。

在该结构中，通过一边使腔室的内压变化一边进行碳化处理，能够在钽丝的全长度上在钽丝的表面均匀地形成碳化钽。

也可以反复使上述腔室的内压上升下降而使上述腔室的内压变化。

也可以向上述腔室内间歇性地导入上述乙炔气体。

除了通过控制上述乙炔气体的供给量之外，还可以通过控制上述腔室内的排气量而使上述腔室的内压变化。

本发明的一个实施方式所涉及的制造装置具有腔室、乙炔气体供给部、控制部以及电源。

上述腔室在其内部以在垂直方向上折回的方式悬挂设置有具有两个端部的钽丝；

上述乙炔气体供给部将乙炔气体导入上述腔室内。

上述控制部通过控制导入上述腔室内的上述乙炔气体的供给量而使上述腔室的内压变化的方式控制上述腔室的内压。