[发明专利]通电加热丝的制造方法以及制造装置

权利要求书

1.一种通电加热丝的制造方法，其中，

向设置有钽丝的腔室导入乙炔气体，所述钽丝具有两个端部并以在垂直方向上折回的方式悬挂，

一边通过控制导入所述腔室内的所述乙炔气体的供给量而使所述腔室的内压变化，一边通电加热所述钽丝，对所述钽丝的表面进行碳化处理。

2.根据权利要求1所述的通电加热丝的制造方法，其中，

反复使所述腔室的内压上升下降而使所述腔室的内压变化。

3.根据权利要求2所述的通电加热丝的制造方法，其中，

向所述腔室内间歇性地导入所述乙炔气体。

4.根据权利要求1或2所述的通电加热丝的制造方法，其中，

除了通过控制所述乙炔气体的供给量之外，还通过控制所述腔室内的排气量而使所述腔室的内压变化。

5.一种制造装置，具有：

腔室，在其内部以在垂直方向上折回的方式悬挂设置有具有两个端部的钽丝；

乙炔气体供给部，其将乙炔气体导入所述腔室内；

控制部，其通过控制导入所述腔室内的所述乙炔气体的供给量而使所述腔室的内压变化的方式控制所述腔室的内压；以及，

电源，其向所述钽丝供给加热所述钽丝的电力，以使在乙炔气体环境下一边使所述腔室的内压变化一边对所述钽丝的表面进行碳化处理。

6.根据权利要求5所述的制造装置，其中，

所述控制部除了控制所述乙炔气体的供给量之外，还控制所述腔室内的排气量而使所述腔室的内压变化。