[发明专利]一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器在审
| 申请号： | 202110560327.4 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113401861A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 胡宗达;彭鹏;李奇思;刘璐;苏晓晓 | 申请（专利权）人： | 成都凯天电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01L1/18 |
| 代理公司： | 成都君合集专利代理事务所(普通合伙) 51228 | 代理人： | 尹新路 |
| 地址： | 610091 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器，通过在一个传感器中集成化多个不同量程的模块，实现了对不同量程、不同尺寸的物件的适应性测量，同时提高了测量的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多量 集成 复合 膜片 mems 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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