[发明专利]金属遮罩在审
| 申请号： | 202110557109.5 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113416923A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 侯冠廷;李清锋 | 申请（专利权）人： | 达运精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 金属遮罩包括至少一工作区块与外围空白区块。工作区块包括周围部与中央部。周围部具有多个第一开口，而中央部具有多个第二开口，其中周围部围绕并连接中央部，而周围部的厚度大于中央部的厚度。外围空白区块围绕并连接于工作区块。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 | ||
【主权项】：
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