[发明专利]金属遮罩

说明书

金属遮罩包括至少一工作区块与外围空白区块。工作区块包括周围部与中央部。周围部具有多个第一开口，而中央部具有多个第二开口，其中周围部围绕并连接中央部，而周围部的厚度大于中央部的厚度。外围空白区块围绕并连接于工作区块。

技术领域

本发明是有关于一种屏蔽，且特别是有关于一种适用于制作图案化膜层的金属遮罩。

背景技术

目前已有一些有机发光二极管显示面板(Organic Light-Emitting DiodeDisplay Panel，OLED Display Panel)采用蒸镀制程(evaporation process)来制造，其中上述蒸镀制程通常使用金属遮罩来制作多个有机发光二极管元件，而此金属遮罩可由金属板经微影与湿蚀刻后而形成。金属遮罩具有多个开口，而这些开口通常是透过湿蚀刻而形成。

受到湿蚀刻的负载效应(loading effect)影响，金属板各处的蚀刻率(etchingrate)并不相同，以至于这些开口的尺寸并不一致。例如，在同一个金属遮罩中，位于边缘处的开口具有明显较大尺寸，但位于中央处的开口却具有明显较小尺寸。这些尺寸不一致的开口不利于制作高分辨率的有机发光二极管显示面板，以至于目前大多数的有机发光二极管显示面板的分辨率很难进一步提升。

发明内容

本发明至少一实施例提出一种金属遮罩，其适用于制作图案化膜层。

本发明至少一实施例所提供的金属遮罩包括至少一工作区块与外围空白区块。工作区块包括周围部与中央部。周围部具有多个第一开口，而中央部具有多个第二开口，其中周围部围绕并连接中央部，而周围部的厚度大于中央部的厚度。外围空白区块围绕并连接于工作区块。

在本发明至少一实施例中，上述金属遮罩具有第一表面与相对第一表面的第二表面，而这些第一开口与这些第二开口皆延伸至第一表面与第二表面。各个第一开口具有第一环形凸棱与第一侧壁。第一环形凸棱位于第一表面与第二表面之间。第一侧壁连接于第一表面与第一环形凸棱之间，其中这些第一环形凸棱实质上皆位于参考平面。第一侧壁与参考平面之间形成第一夹角，其中第一夹角小于90度。各个第二开口具有第二环形凸棱与第二侧壁。第二环形凸棱位于第一表面与第二表面之间，而第二侧壁连接于第一表面与第二环形凸棱之间，其中这些第二环形凸棱实质上皆位于参考平面。第二侧壁与参考平面之间形成一第二夹角，其中第二夹角小于第一夹角。

在本发明至少一实施例中，上述周围部内的这些第一夹角的变化从外围空白区块朝向中央部递减。

在本发明至少一实施例中，上述金属遮罩具有第一表面以及相对第一表面的第二表面，而这些第一开口与这些第二开口皆延伸至第一表面与第二表面。第一表面具有多个点状平面，而这些点状平面分布于周围部，不分布于外围空白区块。

在本发明至少一实施例中，上述第一表面还具有多个端点，而这些端点仅分布于中央部，不分布于周围部与外围空白区块。

在本发明至少一实施例中，至少一端点位于四个相邻的这些第二开口之间。

在本发明至少一实施例中，至少一点状平面位于四个相邻的这些第一开口之间。

在本发明至少一实施例中，这些第一开口与这些第二开口呈阵列排列。

基于上述，利用这些第一开口与这些第二开口，本发明至少一实施例的金属遮罩适用于制作图案化膜层，且特别适用于制作有机发光二极管显示面板的多个发光层。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1A是本发明至少一实施例的金属遮罩的仰视示意图。

图1B是图1A中区域1B的放大示意图。

图1C是图1A中区域1C的放大示意图。