[发明专利]一种极紫外多层膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202110554979.7 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113204179A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 喻波;姚舜;邓文渊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请提供的极紫外多层膜，包括：依次层叠设置的基底、阻挡层及表面保护层，所述阻挡层由多个周期设置的阻挡单元构成，任意一个阻挡单元包括依次设置的Si层、第一扩散阻挡层、Mo层及第二扩散阻挡层，本发明提供的极紫外多层膜，采用表面保护层，该保护层既具备良好的防氢泡产生能力；同时，采用扩散阻挡层以阻止氢离子穿透表面保护层，破坏Mo/Si多层膜界面。另外，本申请提供的极紫外多层膜的制备方法，制备工艺简单，易于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 多层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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