[发明专利]一种MEMS波动陀螺仪在审
| 申请号： | 202110547836.3 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113175923A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 马昭;占瞻;杨珊;阚枭;李杨;陈秋玉;洪燕;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5649;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS波动陀螺仪，包括基底；锚点结构；波动结构，包括N个横梁和M个直梁，横梁与M个直梁交错形成M个节点，且横梁被节点划分为M‑1个第一梁单元，直梁与N个横梁交错形成N个节点，且直梁被节点划分为N‑1个第二梁单元，位于波动结构外轮廓上的节点与锚点结构机械耦合；第一面内换能器，与第二梁单元机械场和电场耦合；第一面外换能器，与第二梁单元机械场和电场耦合；其中，N和M分别为不小于2的正整数；MEMS波动陀螺仪可工作在驱动模态和检测模态中，驱动模态包括面内波动模态以及面外波动模态，检测模态包括第一轴检测模态。本发明提供的MEMS波动陀螺仪能够提高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 波动 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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