[发明专利]用于薄型阵列芯片的覆膜式封装模具在审

专利信息
申请号: 202110546927.5 申请日: 2021-05-19
公开(公告)号: CN113085107A 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 陈昌太;代迎桃;纵雷;李广生;汪逸超 申请(专利权)人: 安徽大华半导体科技有限公司
主分类号: B29C45/34 分类号: B29C45/34;B29C45/26;B29C45/14;H01L21/56
代理公司: 北京双收知识产权代理有限公司 11241 代理人: 解政文
地址: 230088 安徽省合肥市高*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明用于薄型阵列芯片的覆膜式封装模具装在半导体封装设备上,它包括:上模具和下模具,在上模具和下模具之间拉有覆膜,上模具包括:上真空围板、上模架、上垫板、上支撑柱、上模腔、上模腔真空管和上模架真空管,上模腔真空管通入上模腔内,在上模腔下端的四周上开有若干个上真空孔,上模架真空管通入上模架和上真空围板围成的空间内;下模具包括:下模腔、机床顶出杆、下垫板、下真空围板、顶针推板、顶针板、下模架、下模腔真空管、下成型镶件和真空导气针,下模腔真空管通入下模腔内,在下模腔上端开有若干个下真空孔,在下模腔内装有下成型镶件,在下成型镶件上固定有若干个真空导气针,上述真空导气针插入上述若干个下真空孔内。
搜索关键词: 用于 阵列 芯片 覆膜式 封装 模具
【主权项】:
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