[发明专利]一种降低晶体生长炉装配高度的组件及使用方法在审
| 申请号： | 202110546770.6 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113337897A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 武红磊;李文良;金雷;覃佐燕 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 徐律 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体晶体生长技术领域，公开了一种降低晶体生长炉装配高度的组件及使用方法，其中组件包括承重板，其顶部适用于固定晶体生长炉；活动支撑组件安装于承重板的底部，并可驱动承重板进行升降动作；一组固定支撑组件可在承重板和晶体生长炉到达设计高度时，固定支撑于承重板的底部且分设于活动支撑组件的两侧；活动支撑组件适于在晶体生长炉安装到预设位置时，从承重板底部拆除。可以在较低位置先进行承重板与晶体生长炉的安装固定，之后再利用活动支撑件将晶体生长炉和承重板提升到合适的高度，接着利用固定支撑组件进行支撑固定，安装更加方便，提高了装配效率，无需反复安装，可以避免造成晶体生长炉损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 晶体生长 装配 高度 组件 使用方法 | ||
【主权项】：
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