[发明专利]一种降低晶体生长炉装配高度的组件及使用方法在审

专利信息
申请号: 202110546770.6 申请日: 2021-05-19
公开(公告)号: CN113337897A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 武红磊;李文良;金雷;覃佐燕 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 徐律
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 降低 晶体生长 装配 高度 组件 使用方法
【权利要求书】:

1.一种降低晶体生长炉装配高度的组件,其特征在于,包括:

承重板(2),其顶部设有固定安装部且所述固定安装部适用于固定晶体生长炉(1);

活动支撑组件,安装于所述承重板(2)的底部,并可驱动所述承重板(2)进行升降动作;

一组固定支撑组件(5),可在所述承重板(2)和晶体生长炉(1)到达设计高度时,固定支撑于所述承重板(2)的底部且分设于所述活动支撑组件的两侧;

所述活动支撑组件适于在所述晶体生长炉(1)安装到预设位置时,从所述承重板(2)底部拆除。

2.根据权利要求1所述的一种降低晶体生长炉(1)装配高度的组件,其特征在于,还包括;

调节组件(7),其可活动地安装在所述固定支撑组件(5)的底部,适于在所述晶体生长炉(1)的装配位置与预设位置发生较大偏差时、驱动所述固定支撑组件(5)移动以带动所述晶体生长炉(1)移动至预设位置。

3.根据权利要求2所述的一种降低晶体生长炉(1)装配高度的组件,其特征在于,所述调节组件(7)包括:

滚轮(71),可滚动地安装在所述固定支撑组件(5)的底部;

伸缩支撑杆(73),通过调节转换螺丝(72)可伸缩地安装在所述固定支撑组件(5)的底部;

当所述晶体生长炉(1)的装配位置与预设位置存在较大偏差时,所述伸缩支撑杆(73)朝向所述固定支撑组件(5)方向收缩以使所述滚轮(71)滚动接触于地面、且所述滚轮(71)驱动所述固定支撑组件(5)移动并带动所述晶体生长炉(1)调节至预设位置;当所述晶体生长炉(1)的装配位置与预设位置相符时,所述伸缩支撑杆(73)软接触于地面。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种降低晶体生长炉(1)装配高度的组件,其特征在于,所述活动支撑组件包括:

承重平台(6),可拆卸地安装在所述承重板(2)的底部;

至少一个伸缩杆(4),安装在所述承重平台(6)的底部;

动力装置(3),与所述伸缩杆(4)连接,用于驱动所述伸缩杆(4)做伸缩运动。

5.根据权利要求4所述的一种降低晶体生长炉(1)装配高度的组件,其特征在于,所述伸缩杆(4)为电动伸缩杆(4),所述动力装置(3)与所述电动伸缩杆(4)电连接;和/或

所述承重平台(6)为方形平台。

6.根据权利要求1-3任一项所述的一种降低晶体生长炉(1)装配高度的组件,其特征在于,所述固定支撑组件(5)包括:

炉架支撑杆(51),固定于所述承重板(2)的底部,且的顶部开设有由内向外凹陷的沟槽(50);

弹性件(52),安装在所述沟槽(50)内且一端抵接于所述沟槽(50)的底部、另一端延伸至所述沟槽(50)外预设长度并在所述炉架支撑架与所述承重板(2)固定时抵接于所述承重板(2)的底部。

7.根据权利要求6所述的一种降低晶体生长炉(1)装配高度的组件,其特征在于,所述弹性件(52)为弹簧、软树脂或硬树脂。

8.一种降低晶体生长炉装配高度的组件的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1.将承重板(2)与承重平台(6)进行固定,将电动伸缩杆(4)与所述承重平台(6)固定且电动伸缩杆(4)处于最短长度;

S2.利用叉车将晶体生长炉(1)移动至承重板(2)上的固定安装部上并固定;

S3.控制动力装置(3)驱动电动伸缩杆(4)上升,将晶体生长炉(1)提升至略高于设计高度的位置处;

S4.将弹性件(52)放置于炉架支撑杆(51)的沟槽(50)内,并将炉架支撑杆(51)放置到承重板(2)底部预设位置处,控制动力装置(3)使得电动伸缩杆(4)下降,将承重板(2)与炉架支撑杆(51)固定,继续控制动力装置(3)使得电动伸缩杆(4)下降,直至炉架支撑杆(51)底部的调节组件(7)支撑于地面;

S5.拆卸电动伸缩杆(4)和承重平台(6)。

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