[发明专利]振动元件和振荡器有效
申请号: | 202110538570.6 | 申请日: | 2021-05-18 |
公开(公告)号: | CN113691227B | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 西泽龙太;松尾敦司;山口启一;松永拓 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02;H03H9/09;H03H9/19 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李庆泽;邓毅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 振动元件和振荡器。能够进行高精度的温度补偿。振动元件具有:石英基板,其具有第1振动部、第2振动部和第3振动部;一对第1激励电极,它们形成于石英基板的两个主面;一对第2激励电极,它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部;以及一对第3激励电极,它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第3振动部,一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第1倾斜面,一对第3激励电极中的至少一个所述第3激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第2倾斜面,第2倾斜面相对于第1倾斜面倾斜。 | ||
搜索关键词: | 振动 元件 振荡器 | ||
【主权项】:
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