[发明专利]振动元件和振荡器

说明书

振动元件和振荡器。能够进行高精度的温度补偿。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部、第2振动部和第3振动部；一对第1激励电极，它们形成于石英基板的两个主面；一对第2激励电极，它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部；以及一对第3激励电极，它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第3振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第1倾斜面，一对第3激励电极中的至少一个所述第3激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第2倾斜面，第2倾斜面相对于第1倾斜面倾斜。

技术领域

本发明涉及振动元件和振荡器。

背景技术

以在较大温度范围内得到稳定的频率信号为目的，广泛使用了具有温度检测用元件和温度补偿电路的温度补偿石英振荡器(TCXO：Temperature Compensated CrystalOscillator)。但是，在TCXO中，单独地构成了振动元件和温度检测用元件，因此，在温度检测用元件检测出的温度与振动元件的温度之间产生检测误差，难以进行高精度的温度补偿，其中，该振动元件由石英构成。

因此，如专利文献1所示，公开了在公共的压电板上设置有振荡信号输出用的第1振动部和温度检测用的第2振动部的振动元件。由于在公共的压电板上形成有2个振动部，因此，迅速地进行第1振动部与第2振动部之间的热传递。因此，与单独地构成振动元件和温度检测用元件的情况相比，由温度检测用的第2振动部检测的温度与振荡信号输出用的第1振动部的温度之间的检测误差减小，能够进行更高精度的温度补偿。

专利文献1：日本特开2013-98841号公报

但是，在专利文献1记载的振动元件中，振荡信号输出用的激励电极和温度检测用的激励电极形成在压电板的切割角度相同的面上，因此，振荡信号输出用的第1振动部和温度检测用的第2振动部具有相同的频率-温度特性。存在如下课题：振荡信号输出用的第1振动部被设定为频率变化比温度变化小的切割角度，因此，温度检测用的第2振动部也相应地成为频率变化比温度变化小的频率-温度特性，温度变化相对于频率变化的分辨率较低，无法实现精度较高的温度检测。

发明内容

振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部、第2振动部和第3振动部；一对第1激励电极，它们在所述第1振动部处形成于所述石英基板的两个主面；一对第2激励电极，它们在所述第2振动部处形成为在所述石英基板的厚度方向上夹着所述第2振动部；以及一对第3激励电极，它们在所述第3振动部处形成为在所述石英基板的厚度方向上夹着所述第3振动部，所述一对第2激励电极中的至少一个所述第2激励电极形成于相对于所述两个主面倾斜的第1倾斜面，所述一对第3激励电极中的至少一个所述第3激励电极形成于相对于所述两个主面倾斜的第2倾斜面，所述第2倾斜面相对于所述第1倾斜面倾斜。

振荡器具有：上述的振动元件；第1振荡电路，其与所述第1激励电极电连接，输出第1振荡信号；第2振荡电路，其与所述第2激励电极电连接，输出第2振荡信号；第3振荡电路，其与所述第3激励电极电连接，输出第3振荡信号；以及控制信号输出电路，其输入所述第2振荡信号和所述第3振荡信号中的至少一方，根据所述输入的信号而输出对所述第1振荡信号的振荡频率进行控制的控制信号。

附图说明

图1是示出实施方式1的振动元件的俯视图。

图2是沿图1中的A-A线的剖视图。

图3是示出石英基板的切割角度的图。

图4是示出石英基板的切割角度与频率-温度特性的关系的图。

图5是示出振动元件的频率-温度特性的一例的图。

图6是示出振动元件的制造工序的剖视示意图。

图7是示出振动元件的制造工序的剖视示意图。

图8是示出振动元件的制造工序的剖视示意图。