[发明专利]振动元件和振荡器

权利要求书

1.一种振动元件，其具有：

石英基板，其具有第1振动部、第2振动部和第3振动部；

一对第1激励电极，它们在所述第1振动部处形成于所述石英基板的两个主面；

一对第2激励电极，它们在所述第2振动部处形成为在所述石英基板的厚度方向上夹着所述第2振动部；以及

一对第3激励电极，它们在所述第3振动部处形成为在所述石英基板的厚度方向上夹着所述第3振动部，

所述一对第2激励电极中的至少一个所述第2激励电极形成于相对于所述两个主面倾斜的第1倾斜面，

所述一对第3激励电极中的至少一个所述第3激励电极形成于相对于所述两个主面倾斜的第2倾斜面，

所述第2倾斜面相对于所述第1倾斜面倾斜。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其中，

所述两个主面、所述第1倾斜面和所述第2倾斜面的切割角度不同。

3.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述第1倾斜面的切割角度比所述两个主面的切割角度大，所述第2倾斜面的切割角度比所述两个主面的切割角度小。

4.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述第1振动部、所述第2振动部以及所述第3振动部的频率-温度特性不同。

5.根据权利要求4所述的振动元件，其中，

所述第2振动部的频率-温度特性以及所述第3振动部的频率-温度特性的频率变化量比所述第1振动部的频率-温度特性的频率变化量大。

6.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述第1倾斜面和所述第2倾斜面以所述第2振动部的厚度和所述第3振动部的厚度随着从所述第1振动部远离而变薄的方式倾斜。

7.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述第1倾斜面和所述第2倾斜面以所述第2振动部的厚度和所述第3振动部的厚度随着接近所述第1振动部而变薄的方式倾斜。

8.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述第1振动部在所述两个主面中的至少一个所述主面形成有凸部。

9.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述振动元件具有将所述振动元件固定于封装的固定部，在所述第1振动部、所述第2振动部及所述第3振动部与所述固定部之间具有贯通孔和宽度缩窄部中的至少一方。

10.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

在所述第1振动部与所述第2振动部之间、和所述第1振动部与所述第3振动部之间的至少一方具有贯通孔和薄壁部中的至少一方。

11.一种振荡器，其具有：

权利要求1～10中的任意一项所述的振动元件；

第1振荡电路，其与所述第1激励电极电连接，输出第1振荡信号；

第2振荡电路，其与所述第2激励电极电连接，输出第2振荡信号；

第3振荡电路，其与所述第3激励电极电连接，输出第3振荡信号；以及

控制信号输出电路，其输入所述第2振荡信号和所述第3振荡信号中的至少一方，根据所述输入的信号输出对所述第1振荡信号的振荡频率进行控制的控制信号。

12.根据权利要求11所述的振荡器，所述振荡器还具有：

温度传感器；以及

输出选择电路，其输入所述第2振荡信号和所述第3振荡信号，根据所述温度传感器的温度检测结果选择性地输出所述第2振荡信号或所述第3振荡信号，

所述控制信号输出电路根据所述输出选择电路的输出信号而输出所述控制信号。