[发明专利]一种胶体二氧化硅的制备方法在审
申请号: | 202110531736.1 | 申请日: | 2021-05-17 |
公开(公告)号: | CN113277521A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 孔慧;李宏亮;刘卫丽;秦飞;宋志棠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新安纳电子科技有限公司;浙江新创纳电子科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/143 | 分类号: | C01B33/143;C09K3/14 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人: | 魏峯 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种胶体二氧化硅的制备方法,本发明采用胶体二氧化硅颗粒边生长边过滤边超滤浓缩排水的方法,实现颗粒制造周期缩短一半以上,生产效率大大提高;制备得到的胶体二氧化硅,粒径在60nm‑150nm,大颗粒数(≥0.56微米的颗粒数)100万颗/ml,能够有效降低抛光过程的划痕产生,可用于各种抛光液。 | ||
搜索关键词: | 一种 胶体 二氧化硅 制备 方法 | ||
【主权项】:
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