[发明专利]在大长径比金属筒（或管）内壁表面沉积类金刚石薄膜的方法

摘要

本发明涉及在大长径比(L/D)或小直径金属筒(或管)内壁表面沉积类金刚石薄膜的方法，采用一个用金属丝网制作的筒(或管)状阳极，把金属筒(或管)的内壁作为阴极，在丝网阳极和金属筒(或管)内壁之间构成等离子电场，丝网阳极的网孔则成为反应气体均匀分布的通道，反应气体分别通入Ar气、或Si(CH3)4、或H2、或C2H2、或它们的混合气体。在等离子电场中施加高电压，电场中高能γ‑电子轰击丝网阳极，同时被丝网阳极吸收并产生电流。高能γ‑电子的轰击和电流使丝网阳极的温度升高，并控制丝网阳极温度稳定在300℃左右，在真空环境中丝网阳极对筒内壁辐射加热，使筒内壁达到类金刚石薄膜沉积所需的温度(150～200℃)，从而提高薄膜的界面结合强度和金刚石的成分含量。