[发明专利]一种有冗余功能的MEMS加速度计检测模块及其制作方法有效
| 申请号： | 202110518255.7 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113376403B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 刘国文;刘宇;孙伟龙;李兆涵;赵亭杰;刘福民;马智康 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P1/02;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 高志瑞 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有冗余功能的MEMS加速度计检测模块及其制作方法，其中，该模块包括电路板、四个定位孔、金属底座、四个定位柱、三个固定块、垫片、MEMS芯片、ASIC芯片、电源管理芯片和盖板；其中，金属底座的四个角上分别设置有定位柱；电路板的四个角上开设有与每个定位柱相对应的定位孔，电路板通过定位孔套设于每个定位孔相对应的定位柱；电路板的一个对角线上设置有三个固定块；每个固定块的上表面设置有垫片，垫片的上表面设置有MEMS芯片，MEMS芯片的上表面设置有ASIC芯片；电源管理芯片设置在电路板上；盖板与金属底座的顶部相连接。本发明提高了单通道检测的可靠性，又隔离了来自金属外壳的应力，还提供了均匀的温度环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冗余 功能 mems 加速度计 检测 模块 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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