[发明专利]一种柔性晶硅太阳能电池板生产用刻蚀设备在审
| 申请号： | 202110509882.4 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113410167A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 刘一锋;张志强 | 申请（专利权）人： | 华清八度光电集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18;H01L21/67;B08B1/00;B08B1/02 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 杜权 |
| 地址： | 637500 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性晶硅太阳能电池板生产用刻蚀设备，包括上料架、刻蚀机和基座，所述基座上分别设有第一活动槽与第二活动槽，所述第一活动槽的内侧限位固定有上料架，所述上料架的内部活动安装有活动板，所述第一活动槽一侧的基座上固定安装有固定板，所述固定板的一侧通过电动推杆活动安装有与上料架对应的推板，所述第二活动槽一侧的基座上固定安装有与传送带对应的刻蚀机。本发明通过在第一活动槽的内侧限位固定有上料架，通过第一弹簧使活动板将物料顶出上料架，配合推板将物料推送至传送带上进行传送，能够进行自动上料，通过在固定架的内侧活动安装有清理刷，可以方便将物料表面上的灰尘进行清理，方便实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 太阳能 电池板 生产 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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